簡要描述:QRM-MicroCT-BarPattern-NANO分辨率測試卡,內含兩個3mm×3mm硅質芯片,分別水平和垂直安裝,芯片上刻有條狀(溝槽)和點狀圖樣,度規(guī)格為:1μm,2μm,3μm,4μm,5μm,6μm,7μm,8μm,9μm,10μm.
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